Prehľad produktov
Tento jediný čistič doštičiek je skonštruovaný špeciálne pre prácu s polovodičovými doštičkami-a pokrýva všetko od 8-palcových až po 12-palcové formáty bez výnimky. Každý model sa dodáva s presným riadením procesu (zahrievanie, koncentrácia, prietok) a komunikáciou SECS/GEM, takže jeho integrácia do inteligentných fab je hračka. A čo je ešte lepšie, je plne konfigurovateľný, aby vyhovoval všetkým, čo vaša aplikácia potrebuje.
Takto sa séria rozpadá:
SWC 100:
Navrhnuté s ohľadom na 12- palcové doštičky. Má 8 komôr a pracuje so 4 FOUP, čím zvládne všetky štandardné mokré procesy, ktoré by ste dnes-potrebovali.
SWC 200:
Ďalšia 12-palcová zameraná možnosť, ale s boost-12 komorami namiesto 8, plus 4 FOUP kompatibilita. Hlavné procesy? Presne to isté ako SC3100, takže žiadna nová krivka učenia.
SEC Plus:
Flexibilný z partie. Funguje rovnako s 8- aj 12-palcovými doštičkami a počet komôr si môžete prispôsobiť od 2 do 8. Ideálne pre napájacie zariadenia a procesné nastavenia na báze kremíka.
Výhody
◆ Flexibilita formátu a konfigurácie
SWC100 / SWC 200: Pevná 12- palcová podpora (8/12 komôr) pre štandardnú veľkoobjemovú produkciu.
SEC Plus: 8–12- palcová kompatibilita + prispôsobiteľné komory, prispôsobené pracovným tokom zariadení so zmiešaným formátom a výkonom.
◆ Presné riadenie procesu
Všetky modely: Regulácia ohrevu/koncentrácie/prietoku/tlaku, plus voliteľné chemikálie (DHF, SC1, atď.) a 3ea trysky pre rovnomerné spracovanie.
SEC Plus: Pridané oddelenie kyseliny/zásady/organických výfukových plynov + chemická regenerácia, čím sa zvyšuje bezpečnosť a efektívnosť nákladov.
◆ Široká kompatibilita
SWC100 / SWC 200: Podpora 4FOUP nosičov pre integráciu 12-palcovej fab.
SEC Plus: kompatibilita s 2–4 otvorenými kazetami/SMIF/FOUP, prispôsobenie sa starším a moderným výrobným linkám.
Aplikácie
SWC100 / SWC 200 (12-palcové doštičky)
Základné procesy: čistenie RCA, čistenie GATE, leptanie / stripovanie oxidom, odstraňovanie fotorezistu.
Špecifické použitia: Odstraňovanie častíc/kovov/organických nečistôt, pred/po{0}}čistenie, čistenie prepojení Al/Cu (pre logické/pamäťové čipy).
SEC Plus (8–12-palcové doštičky)
Cieľové zariadenia: Karbid kremíka/napájacie zariadenia na báze kremíka, procesné zariadenia-na kremíku.
Špecifické procesy: riedenie/čistenie zadnej strany, čistenie tenkých plátkov, leptanie H3PO4 pri vysokej teplote, plus štandardné odstraňovanie nečistôt a čistenie prepojení.
Parametre
|
Špecifikácia |
SWC100 |
SWC 200 |
SEC Plus |
|
Veľkosť oblátky |
12 palcov |
12 palcov |
8-12 palcov |
|
komory |
8 komôr |
12 komôr |
2-8 komôr (prispôsobiteľné) |
|
Kompatibilita s operátorom |
4FOUP |
4FOUP |
2-4 Otvorte kazetu/SMIF/FOUP |
|
Podporovaná chémia |
DHF,SC1,SC2,DIO3,DICO2,IPA,N2 |
DHF,SC1,SC2,DIO3,DICO2,IPA,N2 |
Etchant,SC1+megasonic,DHF,DICO2,N2 |
|
Funkcie riadenia procesov |
Regulácia ohrevu/koncentrácie/prietoku/tlaku |
Regulácia ohrevu/koncentrácie/prietoku/tlaku |
Regulácia ohrevu/koncentrácie/prietoku/tlaku |
|
Podpora dodávky chemikálií |
N/A |
N/A |
CCSS, LCSS |
|
Manažment výfukových plynov |
N/A |
N/A |
Samostatný výfuk (kyselina/zásada/organické látky) |
|
Ďalšie funkcie |
N/A |
N/A |
Chemická regenerácia; ochrana pred prehriatím kúpeľa; únik |
|
Komunikačný protokol |
SECS/GEM |
SECS/GEM |
SECS/GEM |
FAQ
Aké veľkosti oblátok tieto modely podporujú?
SWC100 / SWC 200 podporujú iba 12-palcové doštičky; SEC Plus je flexibilný pre 8–12-palcové doštičky.
Aký je rozdiel medzi SWC100 a SWC 200?
Zdieľajú rovnaké 12-palcové procesné schopnosti – SC3100 má 8 komôr, zatiaľ čo SWC 200 sa rozširuje na 12 komôr pre vyššiu priepustnosť.
Ktorý model je vhodný na spracovanie napájacieho zariadenia?
SEC Plus je optimalizovaný pre napájacie zariadenia z karbidu kremíka/kremíka (podporuje stenčovanie zadnej strany, vysokoteplotné leptanie H3PO4).
Môžu sa tieto systémy pripojiť k MES našej továrne?
Áno-všetky modely plne podporujú komunikačný protokol SECS/GEM na integráciu z výroby.
Podporuje séria SE funkcie na úsporu{0}}chemických nákladov?
Áno, zahŕňa funkciu chemickej regenerácie (recykluje procesné chemikálie) a odvádzanie klasifikovaného odpadu.
S akými dopravcami tieto systémy spolupracujú?
SWC100 / SWC 200 použitie 4FOUP; SEC Plus podporuje 2–4 otvorené kazety/SMIF/FOUP (prispôsobí sa starším/moderným líniám).
Populárne Tagy: čistič na jednu oblátku, výrobcovia, dodávatelia na čistenie jednej oblátky v Číne
