Prehľad produktov
Systém na odstraňovanie fotorezistu je vyrobený len pre 6–12- palcové doštičky-ideálne na zdvíhanie kovov-na všetkých druhoch polí. Je pripravený na použitie s 3-komorovým nastavením (namáčanie, odizolovanie, čistenie), ale ak potrebujete viac, môžeme prispôsobiť viacprocesové dutiny tak, aby zodpovedali vášmu pracovnému postupu.
Čím vyniká? Užitočné funkcie ako ohrev NMP (v rozsahu od izbovej teploty až do 90 stupňov ± 2 stupne) a 30 MPa vysokotlakové-odgumovanie-a navyše recykluje procesnú kvapalinu, čím sa znižuje množstvo odpadu. Nešetrili sme ani na výkone alebo bezpečnosti: ultrazvukové odizolovanie zaisťuje rýchle a dôkladné odstránenie kovu, zatiaľ čo vstavaný-automatický hasiaci systém CO₂ zabezpečuje prevádzku bez starostí-.
Výhody
Široká kompatibilita plátkov a procesov
Podporuje 6–12- palcové doštičky; prispôsobuje sa procesom zdvíhania pre energetické zariadenia, filtre, MEMS atď.
Efektívny výkon odizolovania
Kombinuje reguláciu teploty NMP, vysokotlakové odgumovanie 30 MPa-a odizolovanie ultrazvukom na dôkladné odstránenie kovu.
Optimalizácia nákladov a bezpečnosti
Recyklácia procesnej kvapaliny (filtrované opätovné použitie) znižuje prevádzkové náklady; Automatické hasenie CO₂ zaisťuje bezpečnú prevádzku.
Flexibilná konfigurácia
Štandardné 3-komorové nastavenie + voliteľné viacprocesové dutiny, ktoré zodpovedajú rôznym potrebám výroby.
Aplikácie
Základné polia:Napájacie zariadenia, filtre, MEMS (mikro-elektromechanické systémy) a ďalšie oblasti súvisiace s polovodičmi-.
Kľúčový proces:Zdvihnutie{0}}kovu (odstránenie špecifických kovových vrstiev mokrým spracovaním) na výrobu konštrukcie zariadenia.
Parametre
|
Špecifikácia |
Podrobnosti |
|
Veľkosť oblátky |
6-12 palcov |
|
Štandardná konfigurácia |
3 komory (namáčanie, odlupovanie, čistenie) |
|
Voliteľná konfigurácia |
Viacnásobné procesné dutiny (prispôsobiteľné) |
|
Parametre vykurovania NMP |
Izbová teplota ~ 90 stupňov ± 2 stupne |
|
Vysokotlakové degumovanie- |
Maximálny tlak: 30 MPa |
|
Kľúčové funkcie |
- Recyklácia procesnej kvapaliny (filtrované opätovné použitie) |
|
Bezpečnostný systém |
CO2 automatický hasiaci systém |
|
Aplikačné polia |
Napájacie zariadenia, filtre, MEMS atď. |
|
Základný proces |
Zdvihnutie kovu-(mokré odstraňovanie kovových vrstiev) |
FAQ
Aké veľkosti plátkov podporuje toto zariadenie?
Je kompatibilný so 6–12-palcovými doštičkami, pokrývajúcimi bežné formáty v napájacích zariadeniach, MEMS atď.
Aké je štandardné nastavenie komory?
Štandardná konfigurácia obsahuje 3 komory: namáčaciu, stripovaciu a čistiacu (podporované sú aj prispôsobiteľné multi{1}}procesné dutiny).
Aký teplotný rozsah podporuje ohrev NMP?
Môže ohriať NMP z izbovej teploty až na 90 stupňov ± 2 stupne, čím sa prispôsobí rôznym potrebám procesu stripovania.
Aká silná je funkcia vysokotlakového odgumovania-?
Maximálny tlak pri vysokotlakovom-odgumovaní dosahuje 30 MPa, čím sa zabezpečí dôkladné odstránenie zvyškov materiálov.
Má funkcie-na úsporu nákladov?
Áno,-procesnú kvapalinu možno recyklovať a filtrovať na opätovné použitie, čím sa znížia prevádzkové náklady.
Aké bezpečnostné opatrenia má?
Je vybavený automatickým hasiacim systémom CO₂, ktorý zaisťuje bezpečnú prevádzku počas spracovania.
Populárne Tagy: systém odstraňovania fotorezistu, výrobcovia, dodávatelia systému odstraňovania fotorezistu v Číne
