Prehľad produktov
Batch Wafer Cleaner-vrátane 12- palcových modelov a 8- BC modelov-bol skonštruovaný pre presnosť pri výrobe polovodičov a spracovaní kremíkových plátkov so špecializáciou na mokré leptanie a čistenie. Čím sa odlišuje? Flexibilita formátu, ktorá funguje pre 12- aj 8{10}} doštičky, plus konfigurovateľné možnosti manipulácie (bez kazety alebo kazetového typu), aby sa zmestili takmer do akéhokoľvek výrobného nastavenia – od veľkoobjemových 300 mm fabrík až po staré 200 mm linky.
Pod kapotou je nabitý funkciami, na ktorých záleží pre konzistentné výsledky: pokročilá správa chemikálií (s podporou CCSS/LCSS), automatizované riadenie procesu dávkovania, teploty a prietoku a priemyselná-štandardná komunikácia SECS/GEM. Neskončili sme však pri výkone-. Bezpečnosť a efektívnosť boli tiež najvyššie priority. Dostanete zabudovanú-detekciu úniku a ochranu proti prehriatiu, aby ste mali pokoj, plus funkcie na regeneráciu chemikálií a klasifikáciu odpadu, aby prevádzka fungovala hladko. Či už leptate, čistíte alebo oplachujete, tento systém poskytuje opakovateľné výsledky, na ktoré sa môžete spoľahnúť-bez hádania.
Výhody
Formát a flexibilita manipulácie
- 12-palcový model:Kazetový-dizajn (znižuje riziko kontaminácie pre vysoko-čisté 300 mm doštičky).
- 8-palcový model:Manipulácia s duálnym bezkazetovým/kazetovým{0}}typom + kompatibilita SMIF POD/FOUP (prispôsobí sa starším/moderným 200 mm pracovným postupom).
Precízne riadenie procesu
- Štandardizované funkcie:Automatické dávkovanie, odvzdušňovanie a prísun a{0}}regulácia teploty, koncentrácie, prietoku a tlaku v reálnom čase (zabezpečuje rovnomernosť-do{2}}dávky).
- Pokročilé sušenie:Sušenie Marangoni/LPD (zabraňuje vodným škvrnám/zvyškom na citlivých povrchoch plátkov).
Náklady a prevádzková efektívnosť
BC3100-exkluzívna chemická regenerácia (znižuje spotrebu chemikálií a odpad).
Dávková ochrana proti prehriatiu + snímače úniku (minimalizuje prestoje a straty materiálu).
Výrobná integrácia a súlad
Plná podpora protokolu SECS/GEM (umožňuje konektivitu MES pre inteligentné pracovné postupy).
- 8-palcový model:Oddelená kanalizácia (zjednodušuje klasifikáciu nebezpečného odpadu a dodržiavanie predpisov).
Aplikácie
Procesy výroby IC
- Čistenie RCA
- Vlhký prúžok PR
- Mokré leptanie dielektrickej vrstvy
- Mokré leptanie kovovej vrstvy
Spracovanie kremíkovej doštičky
- Alkalické leptanie
- Čistenie po-leštení
- Pred-čistenie
- Záverečné opláchnutie
Modelové-prípady použitia
- 12-palcový model: Vyrobené pre-veľkoobjemovú 300 mm produkciu. Myslite na veľké logické a pamäťové čipy, ktoré bežia na plné obrátky.
- 8-palcový model: Ideálne pre 200 mm waferové linky. Skvelé pre automobilové polovodiče a starú mikroelektroniku,-ktoré napájajú základné systémy.
Parametre
|
Parameter |
12-palcový model |
8-palcový model BC |
|
Veľkosť oblátky |
12-palcový (300 mm) |
8-palcový (200 mm) |
|
Typ nástroja |
Kazeta-menej |
Bezkazetový alebo kazetový typ |
|
Kapacita/rozstup plátku |
N/A |
50 doštičiek (25 doštičiek/kazeta x 2)/ rozstup 10 mm |
|
Podporovaní operátori |
N/A |
SMIF POD/FOUP |
|
Podpora dodávky chemikálií |
CCSS, LCSS |
CCSS, LCSS |
|
Technológia sušenia |
Marangoni suché alebo LPD |
Marangoni suché, LPD suché |
|
Chemický manažment |
Automatické dávkovanie, krvácanie a podávanie; |
Automatické dávkovanie, krvácanie a podávanie; |
|
Bezpečnostné funkcie |
Ochrana pred prehriatím vane; senzory úniku (jednotka{0}}úroveň) |
Ochrana pred prehriatím vane; detekcia úniku; oddelené |
|
Chemická regenerácia |
Podporované |
Neuvedené |
|
Komunikačný protokol |
Plná podpora SECS/GEM |
Plná podpora SECS/GEM |
|
Kazetová prevodovka |
Neuvedené |
Podporované |
FAQ
Otázka: Aké veľkosti plátkov podporuje séria BC?
A: BC3100 spracováva 12-palcové (300 mm) doštičky; 8-palcový model BC podporuje 8-palcové (200 mm) doštičky.
Otázka: Môže séria BC pracovať s kazetami?
Odpoveď: BC3100 používa kazetový-dizajn; 8-palcový model podporuje bezkazetovú aj kazetovú manipuláciu.
Otázka: Aké kľúčové procesy vykonáva?
Odpoveď: Poradí si s čistením RCA, prúžkami PR, leptaním dielektrikom/kovom a následným leštením polovodičov/doštičiek.
Otázka: Podporuje integráciu továrne?
Odpoveď: Áno-oba modely plne podporujú komunikačný protokol SECS/GEM pre pripojenie MES.
Otázka: Aké bezpečnostné prvky má?
Odpoveď: Štandardné funkcie zahŕňajú ochranu pred prehriatím vane a detekciu úniku; 8-palcový model pridáva oddelené odvádzanie odpadu.
Populárne Tagy: dávkový čistič oblátok, výrobcovia, dodávatelia dávkového čističa oblátok v Číne
