Oblátky sa delia na oblátky holé a oblátky so vzorom, ako je znázornené na obrázku 6. Východiskový bod na zváženie typov defektov dvoch typov plátkov je trochu odlišný. Na povrchu doštičiek je veľa druhov defektov, ktoré môžu byť spôsobené procesmi alebo defektmi v samotnom materiáli. Použitie rôznych metód detekcie defektov môže viesť k rôznym klasifikáciám defektov. Berúc do úvahy fyzikálne vlastnosti defektov a špecifickosť následných algoritmov detekcie defektov, defekty možno jednoducho klasifikovať na povrchové redundancie (častice, znečisťujúce látky atď.), kryštálové defekty (chyby klznej čiary, chyby stohovania), škrabance a defekty vzoru (pre vzorové doštičky).
Redundancia povrchu
Na povrchu doštičiek sú rôzne typy nadbytočných materiálov, od drobných častíc s veľkosťou desiatok nanometrov až po prach s veľkosťou stoviek mikrometrov a povrchové zvyšky, ktoré zanechal predchádzajúci proces. Častice môžu byť zavedené procesmi, ako je leptanie, leštenie, čistenie atď. Chyby nadbytočnosti pochádzajú najmä z prachu na povrchu plátku počas výroby a spracovania, čistoty vzduchu, ktorá nespĺňa normy, a chemických činidiel počas spracovania. Tieto častice môžu počas fotolitografie blokovať svetlo, čo spôsobuje poruchy v štruktúre integrovaného obvodu. Kontaminanty môžu priľnúť k povrchu plátku, čo má za následok neúplné vzory a ovplyvňuje elektrické charakteristiky čipu, ako je znázornené na obrázku 7.
Kryštálová chyba
Poruchy sklzu sú tiež bežným typom defektov spôsobených nerovnomerným zahrievaním počas rastu kryštálov. Zvyčajne tvoria malé vodorovné čiary na vonkajšom okraji oblátky. Vzhľadom na pomerne veľkú veľkosť sklzovej čiary je možné ju identifikovať pomocou manuálneho pozorovania.
Poruchy stohovania sú tiež defekty, ktoré možno nájsť v epitaxných vrstvách, zvyčajne v dôsledku narušenia normálnej postupnosti stohovania husto zložených rovín v kryštálovej štruktúre s veľkosťami typicky v rozsahu mikrometrov.
Mechanické poškodenie
Mechanické poškodenie sa vo všeobecnosti týka škrabancov na povrchu doštičky spôsobených leštením alebo krájaním, zvyčajne spôsobených chemicko-mechanickým leštením (CMP), vytváraním tvaru oblúka alebo môže ísť o nekontinuálne bodové rozloženie, ako je znázornené na obrázku 10. Tento typ poškodenia sa líši vo veľkosti a zvyčajne ovplyvňuje konektivitu obvodu plátku, čo z neho robí vážnu chybu. Táto chyba môže byť opravená, ale môže byť spôsobená nesprávnou mechanickou obsluhou.
