Prehľad produktov
Spray Coater Equipment je automatický sprejový fotorezistový náterový systém určený pre doštičky so vzormi hlbokých{0}}dier, s vysokým-pomerom-strany, okrúhle a štvorcové substráty.
Prijatím technológie ultrazvukového rozprašovania fotorezistom dosahuje zariadenie rovnomerné pokrytie fotorezistom na schodových povrchoch, okrajoch, bočných stenách a dne hlbokých štruktúr. Systém je možné nakonfigurovať s integrovanými poťahovacími komorami a vyvíjacími komorami, aby splnil prepojené pracovné postupy-vývoja poťahovania. Poskytuje plochý-rovnomernosť postreku a vynikajúce pokrytie stupňov pre aplikácie so štruktúrou TSV s hlbokými otvormi a vysokým-pomerom{5}} strán. Na splnenie požiadaviek vedecko-výskumnej skúšobnej-prevádzky a hromadnej{8}}výroby je k dispozícii viacero možností komôr.
Výhody
Vynikajúci náterový výkon pre komplexnú topografiu
Ultrazvuková rozprašovacia technológia umožňuje konzistentné pokrytie fotorezistom na strmých bočných stenách, dne hlbokých otvorov a okrajoch plátkov. Rieši problémy so slabým pokrytím, ktorým čelia tradičné rotačné nanášacie zariadenia s vysokým-pomerom{2}} strán.
Vynikajúce indikátory procesu
Rovnomernosť plochého- nástreku dosahuje 5 %@5-10 μm a krokové pokrytie je väčšie alebo rovné 30 %. Stabilná kvalita povlaku podporuje následné procesy litografie a leptania.
Flexibilná rozšíriteľnosť komory
Podporuje 2-4 komory s voliteľnými modulmi Coater (COT) a Developer (DEV). Integrovaná konfigurácia na vývoj povlaku zjednodušuje procesný tok pre rôzne výrobné potreby.
Modulárne prispôsobenie pre rôzne scenáre
Kompaktná konfigurácia pre laboratórny výskum a vývoj a pilotné testovanie; rozšírené viac{0}}komorové nastavenie pre-vysokú priepustnosť hromadnej výroby.
Aplikácie
-
Pokročilé balenie (proces TSV s hlbokými otvormi)
-
MEMS zariadenia
-
Výkonové polovodičové zariadenia
-
RF integrované obvody
-
Polovodičová optika
-
Optické komunikačné komponenty
-
Laboratóriá univerzity a výskumného ústavu
Parametre
|
Položka |
Špecifikácia |
|
Model |
Séria ASP |
|
Procesná funkcia |
Fotorezistentný sprejový náter; voliteľná funkcia vyvolávania (modul COT / DEV) |
|
Podporované substráty |
Si, sklo, okrúhle a štvorcové vzorované substráty |
|
Konfigurácia komory |
2-4 komory (COT, DEV voliteľné) |
|
Rovnomernosť plochého-striekania |
5% @5-10 μm |
|
Pokrytie krokov |
Väčšie alebo rovné 30 % |
|
Kľúčová technológia |
Ultrazvukové rozprašovanie fotorezistom |
|
Režim spracovania |
Automatický sprejový náter |
|
Celkový rozmer |
2665 × 2825 × 2550 mm (Š×H×V) |
FAQ
Otázka: Aká je hlavná výhoda sprejového nanášacieho zariadenia v porovnaní s tradičným rotačným nanášacím zariadením?
Odpoveď: Spin coater vyhovuje hlavne plochým povrchom plátkov. Striekací lakovač aplikuje ultrazvukový atomizovaný fotorezist, čím sa dosiahne efektívne pokrytie hlbokých otvorov, bočných stien a krokov s vysokým pomerom strán. Je ideálny pre zariadenia TSV a MEMS s komplexnou topografiou povrchu.
Otázka: Dokáže tento stroj dokončiť obaľovanie a vyvíjanie v jednej jednotke?
A: Áno. Systém podporuje voliteľné komory COT (poťahovanie) a DEV (vyvíjacie). Zákazníci si môžu vybrať konfiguráciu samostatného striekacieho nanášacieho zariadenia alebo kombinovaného vývojového zariadenia nanášacieho zariadenia podľa toku procesu.
Otázka: Podporuje štvorcové substráty okrem okrúhlych doštičiek?
A: Áno. Mechanizmus nanášania striekaním je kompatibilný s okrúhlymi doštičkami aj štvorcovými substrátmi, ako sú sklenené kúsky, ktoré sa nedajú dobre spracovať rotačným nanášaním. Uveďte rozmer substrátu na posúdenie receptúry.
Otázka: Aký výkon pokrytia krokov môžem očakávať?
Odpoveď: Pri optimalizovaných receptúrach je pokrytie krokov Väčšie alebo rovné 30 %. Skutočné výsledky závisia od skutočnej hĺbky prvku, pomeru strán a typu fotorezistu. Ponúkame podporu ladenia procesov.
Otázka: Je k dispozícii konfigurácia malého dávkového laboratória?
A: Áno. Počet komôr je možné konfigurovať z 2 4 komôr. Kompaktné verzie sú vhodné pre výskum a vývoj, zatiaľ čo viackomorové usporiadanie slúži na sériovú výrobu.
Otázka: Ktoré typy fotorezistov sú kompatibilné so sprejovým lakovačom ASP?
Odpoveď: Prispôsobuje sa väčšine štandardných polovodičových fotorezistov. Zdieľajte svoj model fotorezistu a viskozitu na overenie uskutočniteľnosti pred realizáciou projektu.
Populárne Tagy: zariadenia na nanášanie sprejov, výrobcovia, dodávatelia zariadení na nanášanie sprejov v Číne
