Zariadenie RTP na oxidáciu a difúziu je základný nástroj na tepelné spracovanie polovodičov-, ktorý kombinuje oxidáciu, difúziu a žíhanie do jednej robustnej jednotky. Bezproblémovo spolupracuje s kremíkom, karbidom kremíka a ďalšími kritickými materiálmi, manipuluje s doštičkami s veľkosťou až 8 palcov a získal si povesť spoľahlivého výkonu a presného ovládania, ktoré spĺňa každodenné-každodenné{4}}požiadavky na spracovanie polovodičov.
Základné aplikácie
1. Hromadná výroba zariadení na báze kremíka-: Je to ťažný kôň za integrovanými obvodmi, IGBT a podobnými komponentmi. Budete ho používať na pestovanie izolačných vrstiev oxidáciou, nastavovanie dopingových úrovní difúziou a odstraňovanie defektov žíhaním-to všetko pri udržiavaní vysokého-objemu potrebného v spotrebnej elektronike a priemyselnom riadení.
2. Široké-rozsahové spracovanie materiálu: Tento nástroj si skutočne príde na svoje s pokročilými materiálmi, ako sú SiC a GaN. Umožňuje vám vyladiť koncentrácie dopingu a vyhladiť materiálové rozhrania, čo je kľúčové pre výrobu vysokovýkonných -výkonných dielov-výkonových modulov pre nové energetické vozidlá, ktoré musia obstáť v náročných podmienkach.
3. Výskum a vývoj polovodičov: Univerzity a laboratóriá ho prisahajú za jeho flexibilitu. Ide o viac{2}}procesnú platformu, ktorá umožňuje výskumníkom prechádzať medzi oxidáciou, difúziou a ďalšími funkciami bez problémov-ideálna na testovanie nových materiálov, ako je oxid gália, alebo experimenty, aby zistili, ako sa rôzne parametre otriasajú.
Ideálni používatelia
1. Veľké-výrobné spoločnosti: Ak chrlíte polovodiče pre spotrebnú elektroniku alebo nové energetické vozidlá, toto zariadenie musíte mať-. Jeho dizajn všetko-v-jednom znižuje dodatočné náklady a udržuje pracovné postupy v pohybe, zatiaľ čo jeho stabilný výkon zaisťuje, že produkcia zostane na správnej ceste a výnosy zostanú konzistentné-bez neočakávaných prestojov, ktoré vás nespomalia.
2. Výskumné inštitúcie a univerzity: Tento nástroj je vhodný pre tímy, ktoré sa zaoberajú novými polovodičovými materiálmi. Ľahko zvláda malé-experimenty v dávkach, pracuje so širokou škálou materiálov a umožňuje vám upravovať parametre procesu podľa potreby-, čím pomáha zrýchliť tempo inovácií bez kompromisov vo výsledkoch.
3. Strední a malí výrobcovia zariadení: Ak potrebujete skombinovať zákazkové objednávky so sériovou výrobou, toto zariadenie je šikovný výber. Pracuje s viacerými materiálmi, takže si nemusíte kupovať samostatné nástroje pre rôzne procesy a jeho 1-4 procesné nastavenie trubice vám umožní zvýšiť alebo znížiť kapacitu. Táto agilnosť je veľkým plusom, keď sa snažíte udržať konkurencieschopnosť na rýchlo sa meniacom trhu.
