Trojrozmerný optický profilometer dosahuje presnosť merania na úrovni mikrometrov až nanometrov prostredníctvom interferencie bieleho svetla alebo konfokálnej technológie a analyzuje trojrozmernú morfológiu, drsnosť a obrys povrchov pevných materiálov. Tento prístroj má bez-dotykové meracie charakteristiky, ktoré zabraňujú poškodeniu meraného povrchu, a je vhodný pre rôzne materiály, ako je priehľadný/kov/vysoký odraz. V oblasti mechanickej výroby, polovodičov, letectva atď. sa 3D optické profilometre široko používajú pri kontrole kvality, monitorovaní procesov a vývoji produktov.
Do roku 2025 budú mať bežné modely ako ZeGage Pro a SuperViewW1 seizmický výkon aj možnosti automatického merania s presnosťou merania presahujúcou úroveň 0,1 nm. Funkcie prístroja zahŕňajú mikromorfologickú analýzu, výpočet zakrivenia a detekciu charakteristík tenkého filmu, ktoré sú v súlade s normou ISO 25178 a stali sa základným detekčným zariadením pre modernú presnú výrobu.
