Už vás nebaví objemné vybavenie, ktoré zaberá vaše laboratórium alebo malý výrobný priestor? RTP-100 stolný RTP systém je vytvorený pre malé doštičky (max. 6 palcov)-ideálny pre tímy, ktoré potrebujú presnosť bez obetovania štvorcového záberu. Je to jednoduché, spoľahlivé a prispôsobené každodenným potrebám výskumníkov a výrobcov malých sérií.
Čo na tom milujeme
Sedí ako uliate: S rozmermi 910 mm×860 mm×695 mm (Š×H×V) sa zmestí do úzkych rohov alebo preplnených pracovných stolov. Nie je potrebné meniť usporiadanie celého nastavenia, len aby ste pridali možnosť tepelného spracovania.
Regulácia teploty, na ktorú sa môžete spoľahnúť: Dva spôsoby regulácie tepla-termočlánok pre izbovú teplotu až do 800 stupňov a infračervený pyrometer pre 500 stupňov až 1200 stupňov . Ohrieva doštičky až na 150 stupňov/s (oveľa rýchlejšie ako pri SiC alebo grafitových nosičoch, ktoré obmedzujú 20-30 stupňov/s). A konzistencia? Rovnomerné menšie alebo rovné ± 3 stupne pod 600 stupňov , Menšie alebo rovné ± 0,5 % nad týmto plus ± 1 stupeň opakovateľnosti – takže vaše výsledky sa nebudú meniť medzi dávkami.
Žiadna-operácia: Manuálne nakladanie/vykladanie zjednodušuje veci (skvelé, ak uprednostňujete{0}}kontrolu rukou), zatiaľ čo bzučiak a výstražné svetlá vás upozornia, ak niečo nefunguje. Ovládanie pomocou počítača uľahčuje ladenie parametrov a-nie je potrebné žiadne zložité školenie.
Zahŕňa základy (a potom niektoré): Zvláda vákuum až do 30 mTorr, udržuje kyslík pod 3 ppm a podporuje až 4 kanály MFC. Či už robíte žíhanie iónovou implantáciou, rast oxidov alebo tepelné spracovanie malých vzoriek, skontroluje všetky boxy pre základné rýchle tepelné spracovanie.
Pre koho to je
Toto nie je pre veľké-továrne{1}}toto je pre laboratórnu techniku, ktorá vykonáva každodenné experimenty, pre malých výrobcov, ktorí chrlia vlastné komponenty, alebo pre výskumný tím testujúci nové materiály. Ak pracujete s malými doštičkami a potrebujete konzistentné výsledky bez problémov s industriálnym-veľkým zariadením, toto je pre vás.
Rýchle tipy na správne používanie
Prepínanie teplotných režimov: Použite termočlánok pre teploty až do 800 stupňov a prepnite na infračervené v softvéri počítača pre čokoľvek teplejšie. Systém sa automaticky-kalibruje.
Nakladanie oblátok: Nevynechávajte čisté rukavice! Výsledkom sú odtlačky prstov alebo prach. Manipulujte s ním jemne, bez padania a uistite sa, že je vycentrovaný na nosič-jednoduché kroky, ktoré vám neskôr ušetrí bolesť hlavy.
Bežné opravy: Ak sa pri spustení vypne bzučiak, najskôr skontrolujte, či sú dvierka dutiny pevne zamknuté (všetci sme na to zabudli!). Ak rýchlosť ohrevu nedosahuje 150 stupňov/s, uistite sa, že nepoužívate nosič,-ktorý ho spomaľuje. A ak vaše doštičky neočakávane oxidujú, dvakrát-skontrolujte vákuum (malo by byť menšie alebo rovné 30 mTorr) a hladinu kyslíka (udržiavajte ho<3 ppm).
Údržba, na ktorej záleží: Každý týždeň utrite kremennú komoru alkoholom-nečistoty sa hromadia rýchlejšie, než si myslíte. Kontrolujte žiarovky každé 3 mesiace (vymeňte po 1000 hodinách) a tesniace krúžky mesačne, či nie sú prasknuté. Oh, a nenechajte vodné chladenie prejsť nad 70 stupňov -to je rýchly spôsob poškodenia dielov.
Pevný pracant
Táto vec je certifikovaná podľa noriem SEMI S2 a je vyrobená tak, aby vydržala. Nemá okázalé extra funkcie, ktoré nikdy nevyužijete, ale vyzdvihuje to podstatné: presnosť, kompaktnosť a jednoduchosť použitia. Pre laboratóriá a malé tímy, ktoré potrebujú riešenie tepelného spracovania, ktoré funguje deň čo deň, je RTP-100-nepremyslená. Nie je dokonalý (nič nie je!), ale je spoľahlivý – a to sa počíta, keď sa snažíte udržať experimenty alebo výrobu na správnej ceste.
