Prehľad produktov

Toto polo{0}}automatické zariadenie RTP je celkom praktické a dokáže spracovať plátky od 8 do 12 palcov. Polo-automatické RTP zariadenie ponúka presnú reguláciu teploty a veľmi nízky obsah kyslíka, vďaka čomu je ideálne pre aplikácie vyžadujúce vysokú čistotu procesu. Okrem toho je-bohatý, podporuje metódy atmosférického aj vákuového spracovania a obsahuje tri bezpečnostné funkcie. Je ideálny pre procesy, ako je optimalizácia ITO a žíhanie silicidových zliatin v stredno{8}}objemovej výrobe.

Výhody

Široká prispôsobivosť:

Zvláda 8-12 palcové doštičky, čím spĺňa potreby dávkovej výroby rôznych veľkostí. Flexibilné konfigurácie lámp a SCR sa prispôsobujú rôznym procesným scenárom.

Automatizácia zvyšuje efektivitu:

Aj keď je stále potrebné manuálne vkladanie a odoberanie plátkov, dvierka komory sa po spustení procesu automaticky otvárajú a zatvárajú, čím sa znižuje ručný zásah a zlepšuje sa prevádzková efektivita a konzistentnosť procesu.

Presná atmosféra:

Obsah kyslíka<1ppm, combined with 6-channel MFC, enables precise control of the reaction atmosphere, suitable for impurity-sensitive annealing processes.

Bezpečné a spoľahlivé:

Vybavený trojitými bezpečnostnými prvkami v kombinácii s automatickým ovládaním dverí komory, čím sa znižuje prevádzkové a procesné riziká a zaisťuje sa stabilná prevádzka zariadenia.

Parametre

Model	RTP-SA-8	RTP-SA-12
Veľkosť oblátky	8 palcov a menej	12 palcov a menej
Veľkosť	970 mm × 1 550 mm × 2 160 mm (Š × H × V)	1050 mm × 1740 mm × 2240 mm (W×D×H)
Rozsah teplôt	RT~~800 stupňov (riadené termokopom) 500 stupňov ~ 1250 stupňov (riadené pyrometrom)	RT~~800 stupňov (riadené termokopom) 500 stupňov ~ 1250 stupňov (riadené pyrometrom)
Maximálna rýchlosť vykurovania	150 stupňov /s---Len oblátka 20 stupňov /s---SiC nosič 30 stupňov /s---Grafitový nosný povlak SiC	150 stupňov /s---Len oblátka 20 stupňov /s---SiC nosič 30 stupňov /s---Grafitový nosný povlak SiC
Rovnomernosť teploty	Menšie alebo rovné ±3 stupne @ Menšie alebo rovné 600 stupňov Menšie alebo rovné ±0,5 % @ 600 stupňov	Menšie alebo rovné ±3 stupne @ Menšie alebo rovné 600 stupňov Menšie alebo rovné ±0,5 % @ 600 stupňov
Opakovateľnosť teploty	±1 stupeň	±1 stupeň
Počet lámp/SCR	33 ea / 10 set	41 ea / 16 set 55ea / 24 set
Max MFC	6	6
Najnižší tlak	30 mTorr	30 mTorr
Miera úniku	10 mTorr/min	10 mTorr/min
O₂Percento	＜1 ppm	＜1 ppm
Max/Priem. výkon	90/50 kW	100/60 kW
Napätie	380V/ 60HZ/ 3 Phase 5 Drôty	380V/ 60HZ/ 3 Phase 5 Drôty
Metóda kontroly	Ovládanie PC	Ovládanie PC

FAQ

1. Dvere komory sa neotvárajú/nezatvárajú automaticky?

Skontrolujte, či proces začal normálne. Reštartujte zariadenie a skúste to znova. Ak problém pretrváva, skontrolujte zapojenie snímača dverí komory.

2. Obsah kyslíka presahuje 1 ppm?

Nahraďte ho inertným plynom s-vysokou čistotou. Skontrolujte netesnosti v plynovom potrubí. Opravte a znova otestujte hladiny kyslíka.

3.Nerovnomerný ohrev oblátok?

Skontrolujte, či je veľkosť plátku správna (8/12 palcov). Vyčistite kremennú komoru. Ak problém pretrváva, obráťte sa na technika, aby upravil výkon lampy.

4. Oblátka sa ľahko šmýka pri ručnom vkladaní/vykladaní?

Vyčistite povrch nosiča. Počas vkladania/vykladania jemne zatlačte oblátku do stredu. Noste protišmykové-neprašné-rukavice.

5.Ako zastaviť v prípade núdze?

Stlačením tlačidla „EMO Emergency Stop“ vypnete zdroj tepla. Po vyriešení problému reštartujte stlačením tlačidla "Reset".