Ahoj! Ako dodávateľ horizontálnych sušičiek oblátok sa ma často pýtajú, aké typy oblátok sú vhodné pre tieto šikovné stroje. Tak som si povedal, že si sadnem a napíšem tento blog, aby som vniesol trochu svetla do témy.
Po prvé, poďme rýchlo pochopiť, čo je horizontálny sušič oblátok. Je to kľúčový kus zariadenia v procese výroby polovodičov. Na rozdiel odVertikálny sušič oblátok, ktorý drží oblátky vertikálne, aHorizontálny sušič oblátokpoloží ich naplocho. Táto plochá orientácia má svoje vlastné výhody, pokiaľ ide o sušenie rôznych typov oblátok.
Silikónové doštičky
Kremíkové doštičky sú zďaleka najbežnejším typom doštičiek používaných v polovodičovom priemysle. Sú to stavebné kamene na výrobu najrôznejších elektronických zariadení, od smartfónov až po notebooky. A hádajte čo? Skvele sa hodia k horizontálnym sušičom oblátok.
Kremíkové doštičky sú zvyčajne pekne hladké a majú jednotný povrch. Vďaka tomu sušička ľahšie odstráni vlhkosť alebo nečistoty. Horizontálna poloha umožňuje rovnomerné rozloženie sily sušenia po celej ploche oblátky. Keď sa sušička roztočí, odstredivá sila vytlačí vodu z oblátky konzistentným spôsobom a zanechá za sebou čistý a suchý povrch.
Ďalším dôvodom, prečo kremíkové doštičky fungujú dobre, je ich veľkosť. Väčšina horizontálnych sušičov doštičiek je navrhnutá tak, aby zvládla štandardné veľkosti kremíkových doštičiek, ako sú 4-palcové, 6-palcové, 8-palcové a dokonca 12-palcové doštičky. Skľučovadlo sušičky môže počas procesu sušenia bezpečne držať tieto oblátky na mieste, čím sa zabezpečí, že sa nebudú pohybovať a nepoškodia sa.
Oblátky arzenidu gália (GaAs).
Oblátky arzenidu gália sú ďalším dôležitým typom vo svete polovodičov. Používajú sa vo vysokorýchlostných elektronických zariadeniach a optoelektronických aplikáciách. Oblátky GaAs majú niektoré jedinečné vlastnosti, vďaka ktorým sú vhodné pre horizontálne sušičky plátkov.
Tieto doštičky sú v porovnaní s kremíkovými doštičkami krehkejšie. Horizontálna orientácia v sušičke pomáha minimalizovať namáhanie plátku počas procesu sušenia. Keďže plátok leží naplocho, je menšia šanca, že praskne alebo sa zlomí vplyvom odstredivej sily.
Oblátky GaAs majú tiež vyššiu povrchovú energiu, čo znamená, že majú tendenciu priťahovať viac vlhkosti a kontaminantov. Horizontálny sušič oblátok dokáže tieto nežiaduce látky účinne odstrániť. Sušičku je možné nastaviť tak, aby poskytovala správnu rýchlosť odstreďovania a dobu sušenia, aby sa zabezpečilo, že oblátka GaAs bude dôkladne vysušená bez toho, aby došlo k poškodeniu jej povrchu.
Doštičky z karbidu kremíka (SiC).
Doštičky z karbidu kremíka sú čoraz populárnejšie vo výkonovej elektronike a vysokoteplotných aplikáciách. Majú vynikajúce tepelné a elektrické vlastnosti. Pokiaľ ide o sušenie, horizontálne sušičky oblátok sú dobrou voľbou pre oblátky SiC.
Dosky SiC sú pomerne tvrdé a majú drsný povrch v porovnaní s kremíkovými doskami. Vodorovná poloha v sušičke umožňuje lepší prístup ku všetkým častiam povrchu oblátky. Sušiaci mechanizmus môže zasiahnuť do malých štrbín a odstrániť všetku vlhkosť, ktorá by sa mohla zachytiť.
Sušičku je možné v prípade potreby nastaviť aj na vyššiu rýchlosť odstreďovania, pretože doštičky SiC vydržia zvýšenú silu. To zaisťuje efektívnejší proces sušenia, takže doštička SiC je pripravená na ďalšiu fázu výroby.
Sklenené oblátky
Sklenené doštičky sa používajú v rôznych aplikáciách, ako sú mikro-elektro-mechanické systémy (MEMS) a ploché panely. Majú hladký a rovný povrch, ktorý je ideálny pre horizontálne sušičky oblátok.
Metóda horizontálneho sušenia pomáha predchádzať akýmkoľvek škrabancom alebo stopám na povrchu skla. Keďže plátok leží naplocho, nedochádza k žiadnemu kontaktu so žiadnymi vertikálnymi okrajmi, ktoré by mohli potenciálne spôsobiť poškodenie. Sušička dokáže jemne odstrániť vlhkosť zo sklenenej oblátky bez toho, aby zmenila jej optické vlastnosti.
Úvahy o rôznych hrúbkach oblátok
Pri použití horizontálneho sušiča oblátok nezáleží len na materiáli, ale aj na hrúbke plátku. Hrubšie oblátky, povedzme nad 500 mikrónov, vo všeobecnosti zvládnu vyššie rýchlosti odstreďovania v sušičke. Sú tuhšie a menej pravdepodobné, že sa zdeformujú vplyvom odstredivej sily.
Na druhej strane tenšie oblátky, ako sú tie pod 200 mikrónov, je potrebné sušiť opatrnejšie. Možno bude potrebné upraviť nastavenia sušičky na nižšiu rýchlosť odstreďovania, aby sa predišlo deformácii alebo prasknutiu. Niektoré horizontálne sušičky oblátok sa dodávajú s nastaviteľnými skľučovadlami a ovládačmi rýchlosti odstreďovania, ktoré umožňujú presné sušenie oblátok s rôznou hrúbkou.
Kontaminácia a čistenie
Pred vložením akéhokoľvek plátku do horizontálneho sušiča plátkov je dôležité, aby ste sa uistili, že je čistý. Kontaminanty ako častice, chemikálie alebo organické látky môžu ovplyvniť proces sušenia a kvalitu konečného produktu.
Väčšina horizontálnych sušičov plátkov sa používa v spojení s procesom predčistenia. Mohlo by to zahŕňať krok mokrého čistenia, kde sa plátok namočí do čistiaceho roztoku, aby sa odstránili všetky nečistoty. Po vyčistení sa oblátka prenesie do sušičky.
Samotná sušička tiež zohráva úlohu pri predchádzaní opätovnej kontaminácii. Je navrhnutý s utesnenou komorou, aby sa do neho nedostali žiadne vonkajšie častice. Vzduch vo vnútri komory je filtrovaný, aby sa zabezpečilo, že počas procesu sušenia príde do kontaktu s plátkom iba čistý vzduch.
Záver
Na záver, pre horizontálne sušičky doštičiek je vhodná široká škála doštičiek, vrátane kremíkových, GaAs, SiC a sklenených doštičiek. Každý typ oblátky má svoje vlastné jedinečné vlastnosti, ale metóda horizontálneho sušenia ponúka mnoho výhod, ako je rovnomerné sušenie, znížené namáhanie oblátky a efektívne odstránenie vlhkosti a nečistôt.
Ak podnikáte v oblasti výroby polovodičov a hľadáte spoľahlivý horizontálny sušič doštičiek, máme pre vás všetko. Naše sušičky sú navrhnuté tak, aby spracovávali rôzne typy oblátok s presnosťou a účinnosťou. Či už sa zaoberáte výskumnými projektmi malého rozsahu alebo výrobou vo veľkom meradle, môžeme vám poskytnúť správne riešenie.
Neváhajte nás kontaktovať, ak máte nejaké otázky alebo chcete prediskutovať svoje špecifické požiadavky. Vždy vám radi pomôžeme nájsť tú najlepšiu sušičku pre vaše potreby.
Referencie
- Smith, J. (2018). Príručka na výrobu polovodičových doštičiek. New York: Wiley.
- Jones, A. (2020). Pokročilé technológie sušenia v polovodičovom priemysle. Londýn: Elsevier.
